CUTTING / PROCESSING
SYSTEMS

工作加工システム

超精密炭酸ガスレーザ加工機“SILAS-SAM”シリーズ

最小穴開けφ0.1mmの微細加工を実現した超精密炭酸ガスレーザ加工機です。

SILAS-SAMシリーズ

SPL2305A型

SPL3905A型

特徴
  • 高品質なビームにより、最小穴開けφ0.1mmが可能です。
  • 半導体業界のステンシルマスク加工や樹脂シート加工など、薄板の微細加工や、セラミックスのスクライブ加工等に幅広く対応します。
  • 封じ切りのレーザ発振器を採用していますので、レーザガスの交換及び日常のメンテナンスが不要です。
  • 500mm角(SPL2305A型)及び700x500角テーブル(SPL3905A型)の採用により、機械設置スペースを大幅に削減できます。
  • リニア駆動により、位置決め精度が飛躍的に向上。(SPL3905A)
仕様
型式 SPL2305A SPL3905A
搭載発振器※1 SSL250B SSL400B SSL250B SSL400B
定格出力 200W 400W 200W 400W
加工範囲 500×500mm 700×500mm
早送り速度 15m/min 30m/min
位置決め精度※2 0.01/500mm 0.005/500mm
Z軸移動範囲 65mm 90mm
制御軸数 3軸(X,Y,Z)
駆動方式 ACサーボモータ(X,Y)+ボールネジ リニアサーボモータ(X,Y)
数値入力最小単位 0.001mm
入力電源※3 3φ 200V 50/60Hz 15.7kVA 3φ 200V 50/60Hz 27.0kVA 3φ 200V 50/60Hz 19.5kVA 3φ 200V 50/60Hz 30.8kVA
機械寸法※4 1100(L)×2850(W)×2110(H)mm 1760(L)×2910(W)×2110(H)mm
機械質量 2500kg 2550kg 3500kg 3550kg
  • ※1 SSL1000型レーザ発振器の搭載も可能です。ご希望の場合は別途お問い合わせください。
  • ※2 使用する環境により異なる場合があります。
  • ※3 レーザ発振器、チラーユニットなどの標準装備を含んだ数値です。
  • ※4 搭載するレーザ発振器により異なります。
  • ■改良により仕様を変更することがあります。
発振器
型式 SSL250B SSL400B SSL1000
発振方法 スラブ型封じ切り
定格出力 200W 400W 1000W
出力安定度 ±6% ±6% ±5%
ピークパワー 750W 1000W 2500W
最小パルス幅 10μsec 10μsec 10μsec
最大繰り返し数 100kHz 100kHz 100kHz
入力電源 3φ200V 50/60Hz
6.5kVA
3φ200V 50/60Hz
15.0kVA
3φ200V 50/60Hz
27.5kVA
混合ガス消費量 封じ切りの為、混合ガスの消費はありません
質量 67kg※1 75kg※1 173kg※1
  • ※1 発振器本体の質量です。架台質量は含みません。
  • ■改良により仕様を変更することがあります。
製品に関するお問い合わせ

澁谷工業株式会社

メカトロ事業部 サイラス営業部
〒920-0054 石川県金沢市若宮2-232
TEL 076-263-8111 FAX 076-262-2210
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