ハンダボールマウンタ
SBM381【ウェハ対応】
検査・リペア機／Min. φ0.05mmボール対応
SBM381【ウェハ対応】
マイクロボールが搭載されたウエハを検査し、不良箇所をリペアする検査・リペア装置です。業界初のダブルボールの検査・リペアにも対応しています。
検査とリペア
特徴
- ボール除去機構の採用によるダブルボール、エクストラボールのリペアを実現
- Min.φ0.05mmボールを最大300万個検査が可能
- 2ステージ構造の採用による検査・リペア工程の並列高速処理の実現
- マイクロボールマウンタとの接続によるインライン化に対応
- リペア前後の不良箇所の再検査により高い歩留まりを実現
仕様
| 型式 | SBM381 |
|---|---|
| 適合品種 | ウェハバンピング、ウェハレベルCSP、電子部品 |
| ボールサイズ | φ0.05～0.5mm |
| 検査・リペア範囲 | φ12インチ |
| ウエハサイズ | φ8、φ12インチ(φ4～6インチはオプション対応可) |
| 装置寸法 | 1440(L)×1792(W)×1750(H)mm |
| 装置質量 | 1500kg |
製品に関するお問い合わせ
澁谷工業株式会社
メカトロ統轄本部 精機本部
〒920-0054 金沢市若宮2-232 TEL 076-262-2201 FAX 076-262-2210
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E-mail sh-info@shibuya.co.jp
