超音波洗浄システム

超音波洗浄システム

超音波洗浄システム

半導体ウエハやFPDガラスなどの洗浄に最適な超音波洗浄システムです。幅広い周波数帯をカバーする超音波製品をラインナップしています。また、自社設備のクリーンルームと実験室を活用し、最高の能力を発揮できる洗浄方法/工程をご提案いたします。さらに、海外拠点によるグローバルなアフターサービス体制も展開しています。

超音波洗浄機　QUAVA(クオーバ) USシャワーAD

特徴

• 超音波とシャワーの同時洗浄で、浮かせた汚れを即座に洗い流します。
• 1本の振動子で最大3m幅までカバーし、巨大基板も1台で洗浄可能です。
• 独自の接液方式により、純水の使用量を最大40%削減できます。
• 独自の振動子構造により、超音波エネルギーをワークへ直接伝達し、洗浄性能を大幅に向上しています。

超音波洗浄機 QUAVA(クオーバ) スポットシャワー

特徴

• ノズルから超音波をのせた洗浄液を直接噴射し、狙った場所を効率よく洗浄できます。
• 430kHzから5MHzまでの高周波ラインナップがあり、汚れの大きさに合わせた最適な洗浄が選べます。
• 薬液や高温の洗浄液にも対応します。
• 半導体ウエハ・PLPの枚葉洗浄、ハードディスク洗浄にも使用できます。